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掩膜版設計仿真 | 各種尺寸定制掩膜版設計。 |
器件級仿真 | 可進行靜態、動態、瞬態和頻域等不同類型下熱、靜電、機械、熱-機-電耦合、流-固耦合分析。 |
工藝級仿真 | 結合材料、版圖和工藝流程,創建器件的三維虛擬模型,輸出到TEM模塊進行分析。 |
系統級仿真 | 可有效進行的CMOS-MEMS的器件、電路綜合設計的優良工具,可以實現MEMS-IC整體設計。 |
建模工具 | 設計工具有:高級版圖編輯模塊、設計規則檢查工具、三維建模模塊和網格劃分工具。 |
掩膜版制作 | 各種尺寸( 2”,3”、4”、5”、6”、7” )鉻版制作。 |
案例展示
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MEMaterial材料數據庫 | 微流體,BioMEMS微觀現象仿真 |
3D Visualize simulation results |