電話:18115531507
堿性腐蝕 | KOH,TMAH |
酸性腐蝕 | HF,BOE,HCI,HNO3等 |
光刻膠剝離 | Acetone,IPA |
電感耦合等離子刻蝕 | GaN,GaAs,InP |
深硅刻蝕DRIE | 刻蝕均勻性<±5%,選擇比>50:1 |
深氧化硅刻蝕 | 石英,玻璃,硅,刻蝕形貌:90°±1° |
離子束刻蝕 | 用于較難刻蝕的金屬或其他物質 |
反應離子刻蝕 | Si,SiO?,SiNx |
灰化 | 光刻膠,聚合物 |
案例展示
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
RIE of InP waveguide 7um polyimide | BOSCH工藝 |
Deep Si etch SOI Notch Free |
SOI Notch Free |