氮化鎵（GaN）代工
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| 金屬有機物化學氣相沉積 | GaN，GaAsGaN |
| 化學氣相沉積 | SIC |
| 離子注入 | B，P，F，Al，N，Ar，H，He，Si |
| 高溫氧化 | 1150℃ |
| 高溫擴散/退火 | 900℃-1100℃ |
| 快速退火 | 150℃-1000℃ |
案例展示
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| Diamond-coated wafers | 晶圓圓片長膜、圖形化 |
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