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            外延生長·摻雜

            產品詳情
            金屬有機物化學氣相沉積 GaN,GaAsGaN
            化學氣相沉積 SIC
            離子注入 B,P,F,Al,N,Ar,H,He,Si
            高溫氧化 1150℃
            高溫擴散/退火 900℃-1100℃
            快速退火 150℃-1000℃


            案例展示

            Diamond-coated wafers 晶圓圓片長膜、圖形化 

             

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