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晶圓級電鍍 | Au,Cu,Ni,Sn |
微細加工 | (1)可制造較大高寬比結構;(2) 可選各種材料;(3)可制作任意截面形狀圖形結構;(4) 制造成本低 |
叉指電極 | 提供石英、陶瓷、硅、AlN、塑料等多種襯底的叉指電極測試片,最小線寬1um |
案例展示
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Si通孔填充 | Cu Plating Process | RF MEMS Plating Process | TSV及線路電鍍 |