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倒裝鍵合 | 芯片尺寸:5*5mm-5*5cm 厚度<2mm,溫度<450℃ 精度:±3μm,壓力<100kg,2寸晶圓對晶圓鍵合 |
晶圓鍵合 | 陽極鍵合、共晶鍵合(PbSn,AuSn,CuSn,AuSi等等)、膠鍵合(BCB,SU8,鍵合專用膠),對準精度±5μm |
點膠 | 工作范圍≤300*300mm,膠量控制:容積式和氣壓式,膠水黏度<50kCPS,單次膠量<0.16900ml,時間設置范圍<9.999sec |
貼片 | 銀漿、焊料 |
引線 | 球形焊、楔形焊;Au線,Al線 |
回流爐 | 真空:2mbar,溫度<450℃±0.05℃ |
平行封焊 | 各類金屬管殼,位置精度:±0.0381mm,壓力<5kg |
TSV(硅通孔)工藝 | 1、通孔的形成;2、絕緣層、阻擋層和種子層的淀積;3、電鍍填充,去除和再布線;4、晶圓減??;5、鍵合、劃片 |
TGV(玻璃通孔工藝) | 可完成打孔、沉積、填充再布線、減薄、鍵合劃片等。 |
案例展示
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底層管芯與頂層管芯堆疊連接 | Cu-Cu Metal Diffusion Bond |
TSV(Cu&Sn鍵合)Process |
Ultra High Density TGV For MEMS |