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直徑 | 4~8英寸 | |
鍵合型SOI(Bonding) | 通常對應頂層硅厚度1um 以上的SOI。把2片生長了氧化層的硅片鍵合在一起,氧化層成為埋氧層。其中一個硅片腐蝕拋光減薄成為器件的薄硅膜 , 另一個硅片作為支撐的襯底。 | |
離子注入型 | 通常對應頂層硅厚度1um 以下的SOI,例如頂層硅厚度為220nm,340nm等。 | |
由世界知名廠家生產,用戶需定義頂層硅、氧化硅、體硅這三種材料的參數。常規規格庫存充足,可零售;特殊規格需定制。 |