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類型 | 導電型和半絕緣型 | ||||
等級 | Z級(Zero MPD) | 工業級(Production) | 研究級(Research) | 測試級(Dummy) | |
直徑 | 2~6英寸 | ||||
厚度 | 4H-N | 350±25um | |||
4H-SI | 500±25um | ||||
晶向 | 4H-N | Off axis:4.0°toward 1120!±0.5° | |||
4H-SI | On axis:<0001>±0.5° | ||||
微管密度 | <1cm-2 | <5cm-2 | <15cm-2 | <50cm-2 | |
電阻率 | 4H-N | 0.015~0.028Ω·cm | |||
6H-N | 0.02~0.1Ω·cm | ||||
4/6H-SI | >1E5Qcm | (90%)>1E5Qcm | |||
邊緣去除 | 3mm | ||||
其它參數 | Ra、TTV、Bow、Warp以及其它表面參數按照Semi標準執行,如有特殊要求,請來電咨詢。 |